超高分辨双束FIB系统
离子光学系统)视野范围: | 1 mm | (离子光学系统)探针电流: | <1 pA ~ 100 nA |
(离子光学系统)分辨率: | 2.5 nm @ 30 keV | (离子光学系统)发射源: | 镓液态金属离子源 |
(电子光学系统)视野范围: | 4.3 mm @ WD=5 mm | (电子光学系统)探针电流: | ~ 400 nA |
(电子光学系统)分辨率: | 0.6 nm @ 15 kV | (电子光学系统)发射源: | 肖特基场发射源 |
仪器分类: | FIB-SEM | 价格区间: | 500万-1500万 |
产地: | 进口 |
超高分辨双束FIB系统
离子光学系统)视野范围: | 1 mm | (离子光学系统)探针电流: | <1 pA ~ 100 nA |
(离子光学系统)分辨率: | 2.5 nm @ 30 keV | (离子光学系统)发射源: | 镓液态金属离子源 |
(电子光学系统)视野范围: | 4.3 mm @ WD=5 mm | (电子光学系统)探针电流: | ~ 400 nA |
(电子光学系统)分辨率: | 0.6 nm @ 15 kV | (电子光学系统)发射源: | 肖特基场发射源 |
仪器分类: | FIB-SEM | 价格区间: | 500万-1500万 |
产地: | 进口 |