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  • 产品信息
  • 超高分辨双束FIB系统

    离子光学系统)视野范围:

     1 mm

    (离子光学系统)探针电流:

     <1 pA ~ 100 nA

    (离子光学系统)分辨率:

     2.5 nm @ 30 keV

    (离子光学系统)发射源:

     镓液态金属离子源

    (电子光学系统)视野范围:

     4.3 mm @ WD=5 mm

    (电子光学系统)探针电流:

     ~ 400 nA

    (电子光学系统)分辨率:

     0.6 nm @ 15 kV

    (电子光学系统)发射源:

     肖特基场发射源

    仪器分类:

     FIB-SEM

    价格区间:

     500万-1500万

    产地:

     进口




    超高分辨双束FIB系统

    离子光学系统)视野范围:

     1 mm

    (离子光学系统)探针电流:

     <1 pA ~ 100 nA

    (离子光学系统)分辨率:

     2.5 nm @ 30 keV

    (离子光学系统)发射源:

     镓液态金属离子源

    (电子光学系统)视野范围:

     4.3 mm @ WD=5 mm

    (电子光学系统)探针电流:

     ~ 400 nA

    (电子光学系统)分辨率:

     0.6 nm @ 15 kV

    (电子光学系统)发射源:

     肖特基场发射源

    仪器分类:

     FIB-SEM

    价格区间:

     500万-1500万

    产地:

     进口